| 槽次 | 槽名 | 化学品 | 配槽比例 | 温度 | 时间 | 换槽要求 | 备注 |
1 |
酸性 除油 |
GZ-1611 |
10% v/v |
30±5℃ | 20~40sec 喷洒 40~60sec 浸泡 |
100SF/L 槽液 | |
| 2 | 水洗 | 纯水 | *** | RT | *** | 1 次/天 | |
| 3 | 水洗 | 纯水 | *** | RT | *** | 1 次/天 | |
| 4 | 水洗 | 纯水 | *** | RT | *** | 1 次/天 | |
| 5 | 微蚀 | SPS+H2SO4 | *** | 25±5℃ | 20~30 sec(喷洒) | Cu2+≥25g/l | |
| 6 | 水洗 | 纯水 | *** | RT | *** | 1 次/班 | |
| 7 | 水洗 | 纯水 | *** | RT | *** | 1 次/班 | |
| 8 | 水洗 | 纯水 | *** | RT | *** | 1 次/班 | |
| 9 | 有机 保护 |
GZ-1612 | 100% v/v | 40±2℃ | 60~90 sec | SO42- ＜100ppm | |
| 10 | 水洗 | 纯水 | *** | RT | *** | 1 次/班 | |
| 11 | 水洗 | 纯水 | *** | RT | *** | 1 次/班 | |
| 12 | 水洗 | 纯水 | *** | RT | *** | 1 次/班 | |
| 13 | 冷风吹 | *** | *** | RT | *** | ||
| 14 | 热烘干 | *** | *** | 90±10℃ | 60~90sec | 或设备商建议值 | |
| 15 | 冷却包装 | *** | *** | RT | *** | <40℃ | |
| 槽 次 | 设 备 要 求 |
| 酸性除油 GZ-1611 |
温度设定 30±5℃，加热器材质 Teflon 或石英。 需装设过滤桶( 滤心 10 μ") 泵浦材质无轴封 CPVC，循环流量 3~4 Turn/Hr，喷压 1.5～2.0kg/cm2。 (槽液循环入口及出口需于液面下方以避免与空气搅拌産生气泡) 传动轴材质应选用钛金属或不锈钢 (SUS316 以上)材质。 |
| 水洗 × 3 |
3、水洗槽数建议：3 槽水洗槽(喷洒式)以确保将板面残留药液去除并可获得较大的换水效率。 4、纯水水质要求：PH 值 > 5.0。 |
| 微蚀 |
1、咬蚀量 1.0 ~2.0μm (40 ~ 80μ")。 2、温度设定 25±5℃，加热器材质 Teflon 或石英。冷却盘管采用 SUS316 材质由电磁阀控制开关。 3、可使用喷洒式(喷压 1.5 kg/cm2)或浸泡式，泵浦材质无轴封 CPVC，流量 2~3 Turn/Hr。 4、微蚀槽内所有金属材质必须爲 SUS316 以上材质。 5、配置搅拌副槽以便日后生産操作。 |
| 水洗 × 3 |
4、纯水水质要求：PH 值 > 5.0 (建议装设 PH 计以监控水质) |
| 挤干 | 1、采用 2 组挤水海绵滚轮 ( PVA、PE、PP、PU 材质) 2、于挤干段装设 IBM 风刀组以利后段干燥。(或预留风刀空间) |
| 有机保护剂 GZ-1612 100% v/v |
1、使用浸泡式温度设定 40±2℃，加热器材质 Teflon 或石英，需装设过滤桶(滤心 10μ")循环流量 3~4 Turn/Hr，泵浦材质无轴封 CPVC，爲避免産生气泡槽液导流采斜坡道设计。 2、OSP 处理槽前后段需装设二组PVA 材质加压挤水海绵滚轮以减少槽液带出。 3、OSP 处理槽内水床之挡水墙及挡水滚轮应有适当设计（如实心滚轮或调节轮）以减少药液溢出(水床液位高度可由循环泵浦球阀控制)。 4、浸泡槽内加装槽液内盖，调整适当之抽风量以减少酸味溢出。 |
| 挤干 | 采用 2 组挤水海绵滚轮。( PVA、PE、PP、PU 材质) |
| 水洗 × 3 | 1、使用纯水。(可配置市水切换球阀以便日后清槽使用) 2、水洗流量 2~3 Turn/Hr，喷压 1.0 kg/cm2。 3、水洗槽数建议：3槽水洗槽(喷洒式)以确保将板面残留药液去除并可获得较大的换水效率。 4、纯水水质要求：浓度 (建议装设 PH 计以监控水质) |
| 挤干 | 采用 2 组挤水海绵滚轮 ( PVA、PE、PP、PU 材质) |
| 吹干 | 采用 2 组冷风刀吹干板面水份。 |
热烘干 |
1、装设风刀组温度设定 80~100℃。 2、定期清洁传动滚轮上污物以避免反沾板面。(滚轮应避免使用 EPDM 材质胶轮)。 |
| 冷却 | 装设风刀组将板面降温以利后续包装。 |
| OSP 槽液管理 | 1. 浓度范围 100 ± 20﹪ 药水管理方式如下： OSP 浓度 ＞ 110% 之后以 GZ-1612 A 铜稀释液 ( PH 2.0 ~2.4 ) 补充液面差，OSP 浓度 ＜ 110% 之后以 GZ-1612 原液直接补充液面差。 2. PH 值范围 3.00 ~ 3.80 (最佳：3.2-3.3) 若槽液 PH<3.2 以氨水少量(50ml)多次调整至 PH>3.2 若槽液 PH>3.4 以醋酸少量(100ml)多次调整至 PH<3.3 3.GT 值管控范围:7.0±2ml 以 GZ-1612B 添加补充(L)＝(分析值 – 7.0) × 槽体积÷ 100 若分析值>9.0ml 按添加公式计算量少量多次(100ml)缓慢添加若分析值<5.0ml 则用醋酸将槽液 PH 值降低 0.05 4.酸价范围 115-145(最佳 125-135) 槽体积 400L:每提升槽液酸价值 3.0 需添加醋酸 1L 每降低槽液酸价值 3.0 需添加氨水 100ml 5.硫酸根离子<100ppm 以 1ml 氯化钡水溶液滴入 20ml 槽液,不可出现白色混浊状若出现(白色不溶水)混浊状时则须立即当槽重新建浴。 |
| 制程管理 | 1、水洗槽之进水量为 2 ~ 3 Turn/Hr；喷压为 1.5kg/cm2 2、监控 OSP 槽之前后段水洗(DI Water) PH 值 4.30 ~ 8.0。 3、全线风刀请全开启以避免抽风马达损毁。 4、微蚀槽之咬蚀量控制在 1 ~ 2 μm (40 ~ 80 μ inch)。 5、后段干燥设定温度 80~ 100℃ (请保持适当板距以避免卡板)。 |
| 每日维护 | 1、请早班 OSP 全线水洗段换水。 2、请以 5%醋酸擦拭 OSP 槽后段传动滚轮及风刀上之结晶物。 3、于停线后需将 OSP 槽内二组吸水滚轮取出浸泡于下方槽液中， 待生产前将滚轮取出装回原处即可。 4、于生产时需维持板面干干状态进入 OSP 槽。 5、启动全线传动并检视有无传动异常。 6、请早班 OSP 全线药液取样分析(微蚀率测定，裸铜板 OSP 膜测定..)
7、记录分析药液数据及膜厚于记录本中以便日后追踪。
8、生产过程中保持吸水海棉处于湿润状态,保证海棉的吸水性。
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| 分析项目 | 分析方法 | 备注 |
| 槽液浓度 ﹪ | 仪器设备 紫外光分光光谱仪（UV） 1ml 微量吸管，100ml 定量瓶 检测方法 先将 UV 仪器波长调至 270nm 后暖机约 20~30mins 取 GZ-1612 槽液 (25 ± 1 ℃) 1ml 以纯水稀释至 100ml c.以水做空白校正得到 UV 的吸收值 abs d.GZ-1612 有效浓度﹪= 70 × abs 3.管理范围 GZ-1612 浓度：100 ±20﹪ |
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| PH 值 | 管理范围 3.00 ~ 3.80(建议控制 3.1-3.6) PH 值调整 若槽液 PH<3.2 以氨水少量(50ml)多次调整至 PH>3.2 若槽液 PH>3.4 以醋酸少量(50ml)多次调整至 PH<3.3 |
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| 酸价 | 药品：1 N NaOH 检测方法 取 5ml GZ-1612 槽液(25 ± 1℃)，以水稀释至 50 mL 并均匀混合。 以 1 N NaOH 标准溶液滴定至PH 值爲 7.0 即爲终点 计算式： (V mL × 56.11) /5 = 酸价 管理范围 115 ~ 145 (最佳：125 ~ 135) |
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| GT 值 | 仪器设备 搅拌器、磁石、150ml 烧杯、10ml 吸量管、安全吸球 分析方法 取 GZ-1612 槽液 100ml 置于 150ml 烧杯中，放入磁石并开啓搅拌器 适度的循环搅拌。 于室温下以 10ml 吸量管吸取GZ-1612B 慢慢地滴入GZ-1612 槽液中。 以肉眼由上往下观看，当看不清楚磁石时即爲滴定终点。 管理范围：5.0-9.0ml |
| 分析项目 | 分析方法 | 备注 |
OSP 膜厚测定 |
仪器设备 紫外光分光光谱仪（UV） 100ml 量瓶 检测方法 先将 UV 仪器波长调至 270nm 后暖机约 20~30mins 取经过 GZ-1612 处理过的铜箔表面积 30cm2 的测厚板(若为双面铜板则裁成 3.0 × 5.0cm)浸泡于 50ml 5%盐酸水溶液中，并均匀摇动 3~5 分钟，使 GZ-1612 皮膜完全溶解 以 5%盐酸做空白校正得到 UV 的吸收值 abs 厚度 ＝ 0.427 × abs 厚度范围：0.15 ~ 0.35 um |
| 分析项目 | 分 析 方 法 |
| 硫酸根离子 | 药品： 5% w/w 氯化钡标准液 分析步骤： 取 10 ml GZ-1612 槽液至 50 ml 烧杯中。 加入 1 ml 5% w/w 氯化钡标准液摇晃均匀 2 分钟。 以肉眼观察是否呈现混浊状(或出现白色沈淀物)。 再加入 10ml 纯水于烧杯中，以肉眼观察是否混浊状消失。 判断图例：  OK 有硫酸根离子存在 管理范围： 不可出现混浊状或白色沉淀物。 |
| 问 题 | 原 因 | 处 理 方 法 |
| OSP 槽 PH 过高 | 抽气量过大致槽液被浓缩 待机时间过长 |
调整适当抽气量 提高有效操作 |
| OSP 槽 PH 过低 | 前段水洗槽带入酸 浓度调整剂添加过多 |
调整及增加风刀效率 依分析补充浓度调整剂 |
| OSP 槽浓度过高 | 1.水份蒸发所致 | 调整适当抽气量 依分析补充浓度调整剂 |
| 板面回沾异物 | 滚轮反沾异物 OSP 槽吸水滚轮老化(裂痕) |
每日保养以醋酸擦拭 OSP 槽后滚轮 过滤槽液 不生产时将 OSP 槽吸水滚轮取下浸泡槽液 定期更换吸水滚轮 |
| 白色粉状物析出 | 槽液浓度过高 PH 值过高 |
依分析补充浓度调整剂 调整适当抽气量 |
| 铜面色差 | 微蚀不均所致 OSP 膜不均所致 |
更新微蚀液并检查微蚀槽喷嘴是否阻塞 检查 OSP 槽前后段水洗槽 PH 是否异常 (DI 水 PH 值操作范围 4.30 ~ 5.0) 检查板面是否以干干状态进入 OSP 槽 |
| OSP 槽液液位降低 | 抽气量过大 槽液带出量过大 槽体泄漏 |
调整适当抽气量 调整及增加风刀效率 修复泄漏问题 |
| 异常醋酸气味 | 抽气量不足 槽盖未密封 |
增加抽气量 检视每一槽盖以维持密封性 |
| OSP 后, 铜面不均且有严重氧化 | 1.微蚀槽咬蚀量过低或微蚀槽无故开启,导致铜面上氧化处不上膜 | 检查微蚀槽是否有开启 检查咬蚀量是否正常,提高咬蚀量至上限 检查微蚀槽 Cu2+是否达到 25g/L,如达到 25g/L,则需重新建槽 |
| 膜厚异常 | 操作条件不适当 GZ-1612 浓度及 PH 过低 微蚀量不足 OSP 前后段水洗 PH 异常 OSP 槽吸水滚轮压力太大 |
回归建议操作条件 分析并补充 GZ-1612 原液 更新微蚀液并检查微蚀槽喷嘴是否阻塞 更换新 DI 水 调整适当滚轮压力 |
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