药品名称 | 贮存期 | 贮存温度 |
清洁剂GZ-1902A | 2 年 | 0 -40℃° |
粗化剂GZ-1902B | 2 年 | 0- 40℃° |
后浸剂GZ-1902C | 2 年 | 0- 40℃° |
药液名称 | 控制成份 | 体积百份比 (%) |
清洁槽 | 清洁剂 | 10% |
微蚀槽 | 硫酸(98%) 粗化剂(100%) 双氧水(35%) |
4-6% 2-4% 2-4% |
处理槽 | H2SO4 | 6% |
药液名称 | 控制成份 | 浓度范围 | 温度范围 |
主槽 |
硫酸 双氧水(35%) 铜离子 |
4~6% 2~4% <35g/L |
25 – 35 oC |
后浸槽 | H2SO4 | 4-8% | RT |
药液名称 | 主槽配槽量(升/360升) | 温度范围 |
H2SO4(50%AR级) | 70 | 25 – 35 oC |
粗化剂 | 20 | |
H2O2(35%AR级) | 18 |
药液名称 | 控制成份 | 浓度范围 | 温度范围 |
自动添加槽 | 硫酸 双氧水(35%) 粗化剂 |
5.0~7.0% 4.0~6.0% 4.0-6.0% |
RT |
药液名称 | 添加槽配槽量(升/200升) | 温度范围 |
H2SO4(50%AR级) | 25-30 | RT |
粗化剂 | 10-11 | |
H2O2(35%AR级) | 10-12 |